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更新時間：2023-06-28 點擊次數：1249次
激光干涉儀是一種以波長作為標準對被測長度進行測量的儀器。隨著激光干涉儀測量技術的不斷提高，測量軟件的不斷開發其測量范圍越來越廣泛，特別是在測量數控機床位置精度方面用途最為廣泛。其主要在：線形、角度、垂直度、直線度、平面度等方面上應用。以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩定可靠。
采用了穩定鋼球與絕熱層的雙重定位設計，將干涉鏡用高絕熱層與激光器主機隔開，從而避免了干涉鏡受熱變形，用穩定鋼珠將干涉鏡前端的干涉區與下端底盤定位相連，從而使激光管及電路板發熱而引起的熱膨脹方向沿穩定鋼珠中線向后，使得干涉鏡不受影響，保證了測量準確性。
激光干涉儀的主要功能：
1、可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；
2、可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
3、可實現龍門機床雙軸同步測量；
4、可實現對機床回轉軸的測量與校準；
5、可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；
6、具有動態測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等；
7、支持手動或自動進行環境補償。
